《主要特点》
高稳定,平衡水平移动;
固定标准防震台;
控制器和软件控制;
位置显示和记忆功能;
水平X轴,Y轴移动;
行程50毫米,精度20纳米
移动速度0.1微米-4毫米/秒间可调
电动位置记忆功能
位置/移动距离软件显示
超大镜下操作空间